1. Определение системы массового газоснабжения:
Хранение и контроль давления инертных газов Типы газов: Типичные инертные газы (азот, аргон, сжатый воздух и т. д.)
Размер трубопровода: от 1/4 (контрольный трубопровод) до 12 дюймов основного трубопровода
Основными продуктами системы являются: мембранный клапан/сильфонный клапан/шаровой кран, высокочистый соединитель (VCR, сварной), муфтовый соединитель, клапан регулирования давления, манометр и т. д.
В настоящее время новая система также включает в себя систему специального газового снабжения, в которой для хранения и транспортировки используются стационарные газовые баллоны или автоцистерны.
2. Определение системы очистки:
Очистка газовых потоков от примесей для газопроводов высокой чистоты
3. Определение газовых шкафов:
Обеспечивают контроль давления и контроль расхода для особых источников газа (токсичных, горючих, реактивных, едких газов), а также имеют возможность замены газовых баллонов.
Расположение: Расположено на подсобном этаже или на нижнем этаже для хранения специальных газов Источник: NF3, SF6, WF6 и т. д.
Размер трубопровода: Внутренний газовый трубопровод, как правило, 1/4 дюйма для технологического трубопровода, 1/4-3/8 дюйма в основном для трубопровода продувки азотом высокой чистоты.
Основная продукция: мембранные клапаны высокой чистоты, обратные клапаны, манометры, датчики давления, соединители высокой чистоты (VCR, сварные). Эти газовые шкафы в основном содержат функции автоматического переключения баллонов для обеспечения непрерывной подачи газа и безопасной замены баллонов.
4. Определение распределения:
Подключение источника газа к газосборному змеевику
Размер линии: На заводе по производству микросхем размер распределительного трубопровода основного газа обычно составляет от 1/2 дюйма до 2 дюймов.
Форма соединения: Специальные газопроводы обычно соединяются сваркой, без каких-либо механических соединений или других подвижных частей, главным образом потому, что сварное соединение имеет высокую надежность уплотнения.
На заводе по производству чипов есть сотни километров труб, соединенных для передачи газа, которые в основном имеют длину около 20 футов и сварены вместе. Некоторые изгибы труб и трубчатые сварные соединения также очень распространены.
5. Многофункциональная клапанная коробка (Valve Manifold Box, VMB) Определение:
Он предназначен для распределения специальных газов от источника газа к различным концам оборудования.
Внутренний размер трубопровода: технологический трубопровод 1/4 дюйма и продувочный трубопровод 1/4 - 3/8 дюйма. Система может использовать компьютерное управление для требования приводных клапанов или ситуаций с более низкими затратами с ручными клапанами.
Продукция системы: мембранные клапаны высокой чистоты/сильфонные клапаны, обратные клапаны, соединения высокой чистоты (VCR, микросварная форма), клапаны регулирования давления, манометры и датчики давления и т. д. Для распределения некоторых инертных газов в основном используется панель клапанного коллектора - VMP (многофункциональный клапанный диск), которая имеет открытую газовую поверхность диска и не требует конструкции с закрытым пространством и дополнительной продувки азотом.
6. Вторичная клапанная пластина/коробка (панель подключения инструментов) Определение:
Подключите газ, необходимый для полупроводникового оборудования, от источника газа к концу оборудования и обеспечьте соответствующее регулирование давления. Эта панель представляет собой систему управления газом, которая находится ближе к концу оборудования, чем VMB (многофункциональная клапанная коробка).
Размер газопровода: 1/4 - 3/8 дюйма
Размер жидкостного трубопровода: 1/2 - 1 дюйм
Размер выпускного трубопровода: 1/2 - 1 дюйм
Основная продукция: мембранный клапан/сильфонный клапан, односторонний клапан, клапан регулирования давления, манометр, манометр, высокочистое соединение (VCR, микросварка), муфтовое соединение, шаровой кран, шланг и т. д.
Время публикации: 22 ноября 2024 г.