1. Определение системы объемного газа:
Хранение и контроль давления инертных газов Типы газов: Типичные инертные газы (азот, аргон, сжатый воздух и т. д.)
Размер трубопровода: от 1/4 (трубопровод мониторинга) до 12-дюймового основного трубопровода.
Основными продуктами системы являются: мембранный клапан/сильфонный клапан/шаровой клапан, соединитель высокой чистоты (VCR, сварочная форма), соединитель с наконечником, клапан регулирования давления, манометр и т. д.
В настоящее время новая система также включает в себя специальную газовую систему, в которой для хранения и транспортировки используются стационарные газовые баллоны или автоцистерны.
2. Определение системы очистки:
Очистка объемных газов от примесей для газопроводов высокой чистоты
3. Определение газовых шкафов:
Обеспечивать контроль давления и контроль расхода специальных источников газа (токсичных, горючих, химически активных, агрессивных газов), а также иметь возможность замены газовых баллонов.
Расположение: Расположен на вспомогательном этаже или нижнем этаже для хранения специальных газов. Источник: NF3, SF6, WF6 и т. д.
Размер трубопровода: Внутренний газопровод, обычно 1/4 дюйма для технологического трубопровода, 1/4-3/8 дюйма в основном для трубопровода продувки азотом высокой чистоты.
Основная продукция: мембранные клапаны высокой чистоты, обратные клапаны, манометры, манометры, разъемы высокой чистоты (VCR, сварочная форма). Эти газовые шкафы в основном содержат возможности автоматического переключения баллонов для обеспечения непрерывной подачи газа и безопасной замены баллонов.
4. Определение распределения:
Подключение источника газа к газосборному змеевику
Размер линии: на заводе по производству чипов размер газораспределительного трубопровода обычно составляет от 1/2 до 2 дюймов.
Форма соединения: Специальные газопроводы обычно соединяются сваркой, без каких-либо механических соединений или других движущихся частей, главным образом потому, что сварное соединение имеет высокую надежность уплотнения.
На заводе по производству микросхем для передачи газа подключены сотни километров трубок, длина которых составляет около 20 футов, и они сварены вместе. Некоторые изгибы труб и трубчатые сварные соединения также очень распространены.
5. Многофункциональная клапанная коробка (VMB). Определение:
Он предназначен для распределения специальных газов от источника газа к различным концам оборудования.
Размер внутреннего трубопровода: технологический трубопровод 1/4 дюйма и продувочный трубопровод 1/4–3/8 дюйма. В системе может использоваться компьютерное управление, если требуются клапаны с приводом или более дешевые ситуации с использованием клапанов с ручным управлением.
Системная продукция: мембранные клапаны высокой чистоты/сильфонные клапаны, обратные клапаны, соединения высокой чистоты (VCR, микросварная форма), клапаны регулирования давления, манометры и манометры и т. д. Для распределения некоторых инертных газов используется панель клапанного блока. - В основном применяется ВМП (клапан многофункциональный), который имеет открытую поверхность газового диска и не требует конструкции замкнутого пространства и дополнительной продувки азотом.
6. Пластина/коробка вторичного клапана (панель подключения инструментов). Определение:
Подсоедините газ, необходимый полупроводниковому оборудованию, от источника газа к концу оборудования и обеспечьте соответствующую регулировку давления. Эта панель представляет собой систему контроля газа, расположенную ближе к оборудованию, чем VMB (многофункциональный клапанный блок).
Размер газопровода: 1/4 - 3/8 дюйма
Размер жидкостного трубопровода: 1/2 - 1 дюйм
Размер выпускного трубопровода: 1/2 - 1 дюйм
Основная продукция: мембранный клапан/сильфонный клапан, односторонний клапан, клапан регулирования давления, манометр, манометр, соединение высокой чистоты (VCR, микросварка), муфтовое соединение, шаровой кран, шланг и т. д.
Время публикации: 22 ноября 2024 г.