1. Определение системы оптовой продажи газа:
Хранение и регулирование давления инертных газов. Типы газов: Типичные инертные газы (азот, аргон, сжатый воздух и т. д.).
Диаметр трубопровода: от 1/4 дюйма (контрольный трубопровод) до 12-дюймового магистрального трубопровода.
Основные изделия системы: мембранные клапаны/сильфонные клапаны/шаровые клапаны, высокочистые соединители (VCR, сварные), муфтовые соединители, клапаны регулирования давления, манометры и т. д.
В настоящее время новая система также включает в себя систему хранения и транспортировки специальных газов в больших объемах, которая использует стационарные газовые баллоны или автоцистерны.
2. Определение системы очистки:
Удаление примесей из газовых смесей для газопроводов, работающих с газом высокой чистоты.
3. Определение газовых шкафов:
Обеспечивать контроль давления и расхода специальных газов (токсичных, легковоспламеняющихся, реактивных, коррозионных газов), а также иметь возможность замены газовых баллонов.
Место хранения: Расположено на подсобном или нижнем этаже цеха для хранения специальных газов. Источник: NF3, SF6, WF6 и др.
Размер трубопровода: внутренний газопровод, как правило, 1/4 дюйма для технологических трубопроводов, 1/4-3/8 дюйма, в основном для трубопроводов продувки азотом высокой чистоты.
Основная продукция: мембранные клапаны высокой чистоты, обратные клапаны, манометры, соединители высокой чистоты (VCR, сварные). Эти газовые шкафы, по сути, оснащены функциями автоматического переключения баллонов для обеспечения непрерывной подачи газа и безопасной замены баллонов.
4. Определение распределения:
Подключение источника газа к газосборному змеевику.
Размер трубопровода: На заводе по производству микросхем размер трубопровода для распределения газа обычно составляет от 1/2 дюйма до 2 дюймов.
Способ соединения: Специальные газопроводы обычно соединяются сваркой, без каких-либо механических соединений или других движущихся частей, главным образом потому, что сварное соединение обладает высокой герметичностью.
На заводе по производству микросхем сотни километров трубок, соединенных между собой для транспортировки газа, имеют длину около 20 футов и сварены между собой. Также очень распространены изгибы трубок и сварные соединения трубок.
5. Многофункциональный клапанный блок (клапанный коллекторный блок, VMB) Определение:
Это необходимо для распределения специальных газов от источника газа к различным устройствам.
Внутренний диаметр трубопровода: технологический трубопровод 1/4 дюйма и трубопровод для продувки 1/4 - 3/8 дюйма. Система может использовать компьютерное управление для управления клапанами с электроприводом или, в более экономичных случаях, ручные клапаны.
Продукция системы: мембранные клапаны/сильфонные клапаны высокой чистоты, обратные клапаны, высокочистые соединения (VCR, микросварка), регулирующие клапаны давления, манометры и измерительные приборы и т. д. Для распределения некоторых инертных газов в основном используется панельный клапанный коллектор - VMP (многофункциональный дисковый клапан), имеющий открытую газовую поверхность и не требующий закрытого пространства и дополнительной продувки азотом.
6. Вторичная клапанная панель/корпус (панель подключения инструмента) Определение:
Подключите необходимый для работы полупроводникового оборудования газ от источника газа к оборудованию и обеспечьте соответствующее регулирование давления. Данная панель представляет собой систему управления газом, расположенную ближе к оборудованию, чем многофункциональный клапанный блок (VMB).
Диаметр газопровода: 1/4 - 3/8 дюйма
Диаметр трубопровода для жидкости: 1/2 - 1 дюйм
Диаметр напорного трубопровода: 1/2 - 1 дюйм
Основная продукция: мембранные клапаны/сильфонные клапаны, обратные клапаны, клапаны регулирования давления, манометры, высокочистые соединения (VCR, микросварка), обжимные соединения, шаровые краны, шланги и т. д.
Дата публикации: 22 ноября 2024 г.