1. Определение системы объемного газа:
Хранение и контроль давления инертных газов Типы газов: Типичные инертные газы (азот, аргон, сжатый воздух и т. д.)
Размер трубопровода: от 1/4 (трубопровод мониторинга) до 12-дюймового основного трубопровода.
Основными продуктами системы являются: мембранный клапан/сильфонный клапан/шаровой клапан, соединитель высокой чистоты (VCR, сварочная форма), соединитель с наконечником, клапан регулирования давления, манометр и т. д.
В настоящее время новая система также включает в себя специальную газовую систему, в которой для хранения и транспортировки используются стационарные газовые баллоны или автоцистерны.
2. Определение системы очистки:
Очистка объемных газов от примесей для газопроводов высокой чистоты
3. Определение газовых шкафов:
Обеспечивать контроль давления и контроль расхода специальных источников газа (токсичных, горючих, химически активных, агрессивных газов), а также иметь возможность замены газовых баллонов.
Расположение: Расположен на вспомогательном этаже или нижнем этаже для хранения специальных газов. Источник: NF3, SF6, WF6 и т. д.
Размер трубопровода: Внутренний газопровод, обычно 1/4 дюйма для технологического трубопровода, 1/4-3/8 дюйма в основном для трубопровода продувки азотом высокой чистоты.
Основная продукция: Мембранные клапаны высокой чистоты, обратные клапаны, манометры, манометры, разъемы высокой чистоты (VCR, сварочная форма). Эти газовые шкафы в основном содержат возможности автоматического переключения баллонов для обеспечения непрерывной подачи газа и безопасной замены баллонов.
4. Определение распределения:
Подключение источника газа к газосборному змеевику
Размер линии: на заводе по производству чипов размер газораспределительного трубопровода обычно составляет от 1/2 до 2 дюймов.
Форма соединения: Специальные газопроводы обычно соединяются сваркой, без каких-либо механических соединений или других движущихся частей, главным образом потому, что сварное соединение имеет высокую надежность уплотнения.
На заводе по производству чипов к транспортирующему газу подключены сотни километров трубок длиной около 20 футов, которые сварены вместе. Некоторые изгибы труб и трубчатые сварные соединения также очень распространены.
5. Многофункциональная клапанная коробка (VMB). Определение:
Он предназначен для распределения специальных газов от источника газа к различным концам оборудования.
Размер внутреннего трубопровода: технологический трубопровод 1/4 дюйма и продувочный трубопровод 1/4–3/8 дюйма. В системе может использоваться компьютерное управление, если требуются клапаны с приводом или более дешевые ситуации с использованием клапанов с ручным управлением.
Системная продукция: мембранные клапаны высокой чистоты/сильфонные клапаны, обратные клапаны, соединения высокой чистоты (VCR, микросварная форма), клапаны регулирования давления, манометры и манометры и т. д. Для распределения некоторых инертных газов используется панель клапанного блока. - В основном применяется ВМП (клапан многофункциональный), который имеет открытую поверхность газового диска и не требует конструкции замкнутого пространства и дополнительной продувки азотом.
6. Пластина/коробка вторичного клапана (панель подключения инструментов). Определение:
Подсоедините газ, необходимый полупроводниковому оборудованию, от источника газа к концу оборудования и обеспечьте соответствующую регулировку давления. Эта панель представляет собой систему контроля газа, расположенную ближе к оборудованию, чем VMB (многофункциональный клапанный блок).
Размер газопровода: 1/4 - 3/8 дюйма
Размер жидкостного трубопровода: 1/2 - 1 дюйм
Размер выпускного трубопровода: 1/2 - 1 дюйм
Основная продукция: мембранный клапан/сильфонный клапан, односторонний клапан, клапан регулирования давления, манометр, манометр, соединение высокой чистоты (VCR, микросварка), муфтовое соединение, шаровой кран, шланг и т. д.
Время публикации: 22 ноября 2024 г.