As полупроводникПо мере развития микроэлектронных технологий в направлении повышения производительности и интеграции, к чистоте специальных газов, используемых в электронике, предъявляются более высокие требования. Технология трубопроводов для подачи газов высокой чистоты является важной частью системы газоснабжения. Это ключевая технология для доставки газов высокой чистоты, отвечающих требованиям, к точкам потребления, при сохранении их надлежащего качества.
Технология трубопроводов высокой чистоты включает в себя правильное проектирование системы, выбор фитингов и вспомогательных материалов, строительство, монтаж и испытания.
01Общая концепция газотранспортных трубопроводов
Все газы высокой чистоты и степени очистки должны транспортироваться к конечному пункту газопереработки по трубопроводам. Для соответствия требованиям к качеству газа, когда показатель экспорта газа определен, особенно важно уделять внимание выбору материалов и качеству строительства трубопроводной системы. Помимо точности газопроизводящего или очистного оборудования, на качество трубопроводной системы в значительной степени влияют многие факторы. Поэтому при выборе труб необходимо соблюдать соответствующие принципы очистной промышленности и указывать материал труб на чертежах.
02Значение трубопроводов высокой чистоты в транспортировке газа
Значение трубопроводов для транспортировки высокочистых газов. В процессе выплавки нержавеющей стали каждая тонна металла поглощает около 200 г газа. После обработки нержавеющей стали на ее поверхности не только остаются различные загрязняющие вещества, но и определенное количество газа поглощается в ее металлической решетке. При прохождении воздуха по трубопроводу часть газа, поглощенного металлом, возвращается в воздушный поток и загрязняет чистый газ.
Когда поток воздуха в трубе прерывается, в трубе происходит адсорбция газа под давлением. Когда поток воздуха прекращается, адсорбированный в трубе газ подвергается анализу на снижение давления, и анализируемый газ также попадает в трубу в качестве примеси, образуя чистый газ.
Одновременно с этим, цикл адсорбции и анализа приводит к образованию определенного количества порошка на внутренней поверхности трубы. Эти частицы металлической пыли также загрязняют чистый газ в трубе. Эта характеристика трубы очень важна. Для обеспечения чистоты транспортируемого газа требуется не только чрезвычайно высокая гладкость внутренней поверхности трубы, но и высокая износостойкость.
Когда газ обладает сильными коррозионными свойствами, для трубопроводов необходимо использовать коррозионностойкие трубы из нержавеющей стали. В противном случае на внутренней поверхности трубы появятся коррозионные пятна из-за коррозии. В тяжелых случаях могут отслаиваться или даже пробиваться крупные куски металла, загрязняя тем самым транспортируемый чистый газ.
03 Материал трубы
Выбор материала для трубы должен соответствовать потребностям использования. Качество трубы обычно оценивается по шероховатости внутренней поверхности. Чем ниже шероховатость, тем меньше вероятность попадания частиц. Трубы обычно делятся на три типа:
Один из нихТруба марки EP 316L, прошедшая электролитическую полировку (электрополировку). Она коррозионностойка и имеет низкую шероховатость поверхности. Rmax (максимальная высота пика и впадины) составляет около 0,3 мкм или меньше. Она обладает наивысшей плоскостностью и не склонна к образованию микровихревых токов. Удалите загрязненные частицы. Реакционный газ, используемый в процессе, должен подаваться по трубопроводу на этом уровне.
Один из них —Марка стали BA 316LТрубы, прошедшие обработку методом светлого отжига, часто используются для газов, контактирующих с чипом, но не участвующих в технологической реакции, таких как GN2 и CDA. Другой вариант — трубы AP (отжиг и обработка), которые не подвергаются специальной обработке и обычно используются для двойных комплектов наружных труб, не используемых в качестве газопроводов.
04 Строительство трубопровода
Обработка устья трубы является одним из ключевых моментов этой строительной технологии. Резка и предварительная сборка трубопровода проводятся в чистой среде, при этом обеспечивается отсутствие вредных следов или повреждений на поверхности трубопровода перед резкой. Подготовка трубопровода к продувке азотом должна быть проведена до его вскрытия. В принципе, сварка используется для соединения газопроводов высокой чистоты и прозрачности с большим расходом, но прямая сварка не допускается. Следует использовать обсадные соединения, а используемый материал трубы должен не изменять свою структуру во время сварки. Если сваривается материал со слишком высоким содержанием углерода, воздухопроницаемость свариваемого участка приведет к взаимному проникновению газа внутри и снаружи трубы, что разрушит чистоту, сухость и прозрачность транспортируемого газа, что приведет к серьезным последствиям и повлияет на качество продукции.
В заключение, для транспортировки газов высокой чистоты и специальных газовых трубопроводов необходимо использовать специально обработанные трубы из нержавеющей стали высокой чистоты, что делает систему трубопроводов высокой чистоты (включая трубопроводы, фитинги, клапаны, VMB, VMP) жизненно важной в распределении газов высокой чистоты.
Дата публикации: 26 ноября 2024 г.