As полупроводники микроэлектронные технологии развиваются в направлении повышения производительности и интеграции, предъявляются более высокие требования к чистоте электронных специальных газов. Технология трубопроводов высокочистого газа является важной частью системы газоснабжения высокой чистоты. Это ключевая технология доставки газов высокой чистоты, отвечающих требованиям, предъявляемым к точкам использования газа, при сохранении должного качества.
Технология трубопроводов высокой чистоты включает в себя правильное проектирование системы, выбор трубопроводной арматуры и вспомогательных материалов, строительство, монтаж и испытания.
01Общее понятие газотранспортных трубопроводов
Все газы высокой чистоты и высокой чистоты необходимо транспортировать к конечному газовому пункту по трубопроводам. Чтобы удовлетворить требования к качеству процесса для газа, когда индекс экспорта газа определен, необходимо уделять больше внимания выбору материалов и качеству конструкции трубопроводной системы. Помимо точности оборудования для добычи или очистки газа, на нее во многом влияют многие факторы трубопроводной системы. Поэтому при выборе труб необходимо соблюдать соответствующие отраслевые принципы очистки и указывать материал труб на чертежах.
02Значение трубопроводов высокой чистоты в транспортировке газа
Значение трубопроводов высокой чистоты для транспортировки газа высокой чистоты. В процессе выплавки нержавеющей стали каждая тонна может поглотить около 200 г газа. После обработки нержавеющей стали на ее поверхности не только задерживаются различные загрязняющие вещества, но и определенное количество газа поглощается ее металлической решеткой. Когда по трубопроводу проходит воздушный поток, часть газа, поглощенная металлом, снова попадает в воздушный поток и загрязняет чистый газ.
Когда поток воздуха в трубе прерывистый, труба образует адсорбцию под давлением на проходящем через нее газе. Когда поток воздуха перестает проходить, газ, адсорбированный трубой, образует анализ снижения давления, и анализируемый газ также попадает в чистый газ в трубе в качестве примеси.
В то же время цикл адсорбции и анализа приведет к образованию определенного количества порошка из металла на внутренней поверхности трубы. Эта частица металлической пыли также загрязняет чистый газ в трубе. Эта характеристика трубы очень важна. Для обеспечения чистоты транспортируемого газа требуется не только, чтобы внутренняя поверхность трубы имела исключительно высокую гладкость, но и чтобы она имела высокую износостойкость.
Если газ обладает сильными коррозионными свойствами, для трубопроводов необходимо использовать трубы из коррозионностойкой нержавеющей стали. В противном случае на внутренней поверхности трубы из-за коррозии появятся пятна коррозии. В тяжелых случаях большие куски металла отслаиваются или даже перфорируются, тем самым загрязняя транспортируемый чистый газ.
03Материал трубы
Выбор материала трубы необходимо выбирать в соответствии с потребностями использования. Качество трубы обычно измеряется по шероховатости внутренней поверхности трубы. Чем ниже шероховатость, тем меньше вероятность попадания частиц. Обычно делятся на три типа:
Один из нихТруба 316L класса EP, подвергнутую электролитической полировке (Electro-Polish). Он устойчив к коррозии и имеет низкую шероховатость поверхности. Rmax (максимальная высота от пика до впадины) составляет около 0,3 мкм или меньше. Он имеет высочайшую плоскостность и не позволяет легко образовывать микровихревые токи. Удалите загрязненные частицы. Реакционный газ, используемый в процессе, должен подаваться по трубопроводу на этом уровне.
Один из нихБА класса 316Lтруба, обработанная методом Bright Anneal и часто используемая для газов, которые контактируют со стружкой, но не участвуют в технологической реакции, таких как GN2 и CDA. Одной из них является труба AP (отжиг и сборка), которая не подвергается специальной обработке и обычно используется для двойных комплектов внешних труб, которые не используются в качестве линий подачи газа.
04 Строительство трубопроводов
Обработка устья трубы – один из ключевых моментов данной технологии строительства. Резка трубопровода и сборка выполняются в чистой среде, и в то же время обеспечивается отсутствие вредных следов или повреждений на поверхности трубопровода перед резкой. Перед открытием трубопровода следует провести подготовку к промывке трубопровода азотом. В принципе сварку применяют для соединения газотранспортных и распределительных газопроводов высокой чистоты и высокой чистоты с большим расходом, но прямая сварка не допускается. Должны использоваться соединения корпуса, а материал используемой трубы не должен иметь изменений в структуре во время сварки. Если сваривается материал со слишком высоким содержанием углерода, воздухопроницаемость сварочной части приведет к тому, что газ внутри и снаружи трубы проникнет друг в друга, нарушая чистоту, сухость и чистоту транспортирующего газа, что приведет к серьезным последствиям. и влияют на качество продукции.
Таким образом, для газопроводов высокой чистоты и специальных газопроводов необходимо использовать специально обработанные трубы из нержавеющей стали высокой чистоты, что делает систему трубопроводов высокой чистоты (включая трубопроводы, трубопроводную арматуру, арматуру, ВМБ, ВМП) занимающими жизненно важная миссия в распределении газа высокой чистоты.
Время публикации: 26 ноября 2024 г.