As полупроводники микроэлектронные технологии развиваются в сторону более высокой производительности и более высокой интеграции, более высокие требования предъявляются к чистоте электронных специальных газов. Технология трубопроводов высокочистого газа является важной частью системы подачи высокочистого газа. Это ключевая технология для доставки высокочистых газов, которые соответствуют требованиям к точкам использования газа, сохраняя при этом квалифицированное качество.
Технология высокочистых трубопроводов включает в себя правильное проектирование системы, выбор трубной арматуры и вспомогательных материалов, строительство, монтаж и испытания.
01Общая концепция газотранспортных трубопроводов
Все высокочистые и высокочистые газы необходимо транспортировать к конечному газовому пункту по трубопроводам. Для того чтобы соответствовать требованиям к качеству процесса для газа, когда индекс экспорта газа определен, необходимо уделять больше внимания выбору материала и качеству конструкции системы трубопроводов. Помимо точности оборудования для добычи или очистки газа, на него в значительной степени влияют многие факторы системы трубопроводов. Поэтому при выборе труб необходимо соблюдать соответствующие принципы отрасли очистки и отмечать материал труб на чертежах.
02Значение трубопроводов высокой чистоты в транспортировке газа
Значение трубопроводов высокой чистоты в транспортировке газа высокой чистоты В процессе плавки нержавеющей стали каждая тонна может поглотить около 200 г газа. После обработки нержавеющей стали на ее поверхности не только оседают различные загрязняющие вещества, но и в ее металлической решетке поглощается определенное количество газа. Когда через трубопровод проходит поток воздуха, часть газа, поглощенного металлом, снова попадает в поток воздуха и загрязняет чистый газ.
Когда поток воздуха в трубе прерывистый, труба образует адсорбцию давления на проходящем через нее газе. Когда поток воздуха прекращается, адсорбированный трубой газ образует анализ снижения давления, и анализируемый газ также попадает в чистый газ в трубе в качестве примеси.
В то же время цикл адсорбции и анализа приведет к тому, что металл на внутренней поверхности трубы выработает определенное количество порошка. Эта металлическая пылевая частица также загрязняет чистый газ в трубе. Эта характеристика трубы очень важна. Для обеспечения чистоты транспортируемого газа требуется не только, чтобы внутренняя поверхность трубы имела чрезвычайно высокую гладкость, но и чтобы она имела высокую износостойкость.
Если газ обладает сильными коррозионными свойствами, для трубопровода необходимо использовать трубы из нержавеющей стали, устойчивой к коррозии. В противном случае на внутренней поверхности трубы из-за коррозии появятся пятна коррозии. В тяжелых случаях крупные куски металла будут отслаиваться или даже прокалываться, тем самым загрязняя чистый транспортируемый газ.
03Материал трубы
Выбор материала трубы должен быть сделан в соответствии с потребностями использования. Качество трубы обычно измеряется в соответствии с шероховатостью внутренней поверхности трубы. Чем ниже шероховатость, тем меньше вероятность переноса частиц. Обычно делятся на три типа:
Один из нихТруба марки 316L марки EP, который был электролитически отполирован (Electro-Polish). Он устойчив к коррозии и имеет низкую шероховатость поверхности. Rmax (максимальная высота от пика до впадины) составляет около 0,3 мкм или меньше. Он имеет самую высокую плоскостность и нелегко образует микровихревые токи. Удалите загрязненные частицы. Реакционный газ, используемый в процессе, должен подаваться по трубопроводу на этом уровне.
Один из них —BA класс 316Lтруба, которая была обработана Bright Anneale и часто используется для газов, которые контактируют с чипом, но не участвуют в реакции процесса, таких как GN2 и CDA. Одна из них — это труба AP (Annealing & Picking), которая не подвергается специальной обработке и обычно используется для двойных наборов внешних труб, которые не используются в качестве линий подачи газа.
04 Строительство трубопровода
Обработка устья трубы является одним из ключевых моментов этой строительной технологии. Резка трубопровода и предварительная сборка выполняются в чистой среде, и в то же время обеспечивается отсутствие вредных следов или повреждений на поверхности трубопровода перед резкой. Подготовка к продувке азотом в трубопроводе должна быть выполнена до открытия трубопровода. В принципе, сварка используется для соединения газопроводов высокой чистоты и высокой чистоты с большим расходом, но прямая сварка не допускается. Следует использовать обсадные соединения, а используемый материал трубы должен не иметь изменений в структуре во время сварки. Если сваривается материал со слишком высоким содержанием углерода, воздухопроницаемость свариваемой части приведет к тому, что газ внутри и снаружи трубы будет проникать друг в друга, разрушая чистоту, сухость и чистоту транспортируемого газа, что приведет к серьезным последствиям и повлияет на качество производства.
Подводя итог, можно сказать, что для трубопроводов для транспортировки газа высокой чистоты и специального газа необходимо использовать специально обработанные трубы из нержавеющей стали высокой чистоты, что делает систему трубопроводов высокой чистоты (включая трубопроводы, трубную арматуру, клапаны, VMB, VMP) важной в распределении газа высокой чистоты.
Время публикации: 26 ноября 2024 г.